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常溫晶片接合裝置

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  • · 由于不會(huì)產(chǎn)生鍵合產(chǎn)生的熱應(yīng)變和熱應(yīng)力,因此易于處理微型工件,且器件質(zhì)量穩(wěn)定。
  • · 不需要加熱/冷卻時(shí)間,這意味著可以實(shí)現(xiàn)高吞吐量。
  • · 可以粘合多種材料。此外,還可以粘合不同的材料。
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